サブミクロン分解能 昇降ステージ

FS-1005Z / FS-1010Z


■特長

サブミクロン分解能で位置決めができる昇降動作タイプのフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダを内蔵しており、 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御することで、 目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ストロークは5mm,10mmをラインナップしています。

■仕様

型式 テーブルサイズ ストローク 耐荷重 質量 最小分解能(※1)
[nm]
繰返し位置決め精度(※1)
[nm]
最大移動速度 CAD図面
[mm] [mm] [N](kgf) [kg] FC-411 FC-111 FC-411 FC-111 [mm/sec]
FS-1005Z □120 5 49(5) 1.6 50 100 ±100 ±200 5
FS-1010Z □120 10 49(5) 1.7 50 100 ±100 ±200 5
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド LMガイド+クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:ストローク 100mm あたりの走り平行度です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1005Z
FS-1010Z

その他の製品