サブミクロン分解能 ロングスケール直動ステージ

FS-3300x / FS-3400X
FS-2200X / FS-2300X / FS-2400X


■特長

高分解能とストロークを両立したフィードバックステージです。
自社開発した光学式リニアエンコーダを内蔵しており、位置情報を使用してフィードバック制御することで、目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ステージコントローラFC-414またはFC-114と組み合わせて使用します。

■仕様

型式 テーブルサイズ ストローク 耐荷重 質量 最小分解能(※1)
[nm]
繰返し位置決め精度(※1)
[nm]
最大移動速度 CAD図面
[mm] [mm] [N](kgf) [kg] FC-411 FC-414 FC-111 FC-114 FC-411 FC-414 FC-111 FC-114 [mm/sec]
FS-3300X □160 300 294(30) 8.5 - 50 - 100 - ±100 - ±200 20
FS-3400X □160 400 294(30) 9.5 - 50 - 100 - ±100 - ±200 20
FS-2200X □160 200 294(30) 7.5 - - 500 - - - ±1000 - 20
FS-2300X □160 300 294(30) 8.5 - - - 500 - - - ±1000 20
FS-2400X □160 400 294(30) 9.5 - - - 500 - - - ±1000 20
構成
ボールねじ φ14mm リード5mm
移動ガイド LMガイド
駆動モータ □42mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ、スローダウンセンサ
内蔵スケール
信号周期 FS-3300X,FS-3400X 4μm
FS-2200X,FS-2300X,FS-2400X 20μm
材質 青板ガラス
線膨張係数 9 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:ストローク 100mm あたりの走り平行度です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

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