サブミクロン分解能 直動ステージ

FS-1020X / FS-1040X / FS-1050X / FS-1100X / FS-3150X / FS-3200X
FS-1020XY / FS-1040XY / FS-1050XY / FS-1100XY / FS-3150XY / FS-3200XY


■特長

サブミクロン分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。
このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御することで、目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ストロークは20mm,40mm,50mm,100mm,150mm,200mmをラインナップしています。
ストロークが長いため、広範囲にデータを取得したい場合や試料の精密位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合などに有効です。

■仕様

型式 テーブルサイズ ストローク 耐荷重 質量 最小分解能(※1)
[nm]
繰返し位置決め精度(※1)
[nm]
走り平行度 最大移動速度 CAD図面
[mm] [mm] [N](kgf) [kg] FC-411 FC-111 FC-411 FC-111 [μm以下] [mm/sec]
FS-1020X □60 20 49(5) 0.5 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1020XY □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1040X □80 40 49(5) 1 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1040XY □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1050X □120 50 98(10) 1.6 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1050XY □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.2 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1100X □120 100 98(10) 2.1 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-1100XY □120 X:100,Y:100 78.4(8) 4.2 50 100 ±100 ±200 10 10
FS-3150X 120 x 170 150 98(10) 3 50 100 ±100 ±200 10※2 10
FS-3150XY 120 x 170 X:150,Y:150 68.6(7) 6 50 100 ±100 ±200 10※2 10
FS-3200X 160 x 230 200 196(20) 5 50 100 ±100 ±200 10※2 10
FS-3200XY 160 x 230 X:200,Y:200 147(15) 10 50 100 ±100 ±200 10※2 10
構成
ボールねじ FS-1020X・XY φ4mm リード1mm
FS-3200X・XY φ10mm リード2mm
その他 φ6mm リード1mm
移動ガイド FS-1100X・XY
FS-3150X・XY
FS-3200X・XY
LMガイド
その他 クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ FS-3200X・XY リミットセンサ,スローダウンセンサ
その他 リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 FS-3150X・XY
FS-3200X・XY
青板ガラス
その他 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 FS-3200X・XY
FS-3150X・XY
9 x 10-6/℃
その他 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:ストローク 100mm あたりの走り平行度です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020
FS-1040
FS-1050
FS-1100
FS-3150
FS-3200

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