変換プレート

AP-001 / AP-002


■特長

オプションの変換プレートです。
XYステージを組み付ける際に使用します。 AP-001は通常雰囲気用、AP-002は真空対応品 です。

■仕様

型式 使用可能ステージ CAD図面
AP-001 FS-1020UPX, FS-1020SPX(MD), FS-1020SPX(N), FS-1020PX(N), FS-1020X(N)
AP-002 FS-1020UPX(V), FS-1020SPX(NV), FS-1020PX(NV), FS-1100X(NV)

■寸法イメージ図

AP-001/AP-002