5nm分解能 直動ステージ

FS-1020SPX / FS-1040SPX / FS-1050SPX
FS-1020SPXY / FS-1040SPXY / FS-1050SPXY


■特長

5nm 分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。
このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御することで、目標位置への位置決め、位置再現(繰返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ストロークは 20mm,40mm,50mm をラインナップしています。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
走り平行度
[μm以下]
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1020SPX □60 20 49(5) 0.5 5 ±10 10 5
FS-1020SPXY □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1 5 ±10 10 5
FS-1040SPX □80 40 49(5) 1 5 ±10 10 5
FS-1040SPXY □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 5 ±10 10 5
FS-1050SPX □120 50 98(10) 1.6 5 ±10 10 5
FS-1050SPXY □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.2 5 ±10 10 5
構成
ボールねじ(FS-1020SPX・XY) φ4mm リード1mm
ボールねじ(その他) φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 2μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※2) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する『最小分解能』及び『繰返し位置決め精度』です。
※2:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020SP
FS-1040SP
FS-1050SP

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