5nm分解能 ステージコントローラ

FC-611


■特長

大気用または真空用の5nmフィードバックステージを5nm分解能で制御するコントローラです。
既存コントローラFC-601Aの後継機で置き換えが可能です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。

■仕様

型式 FC-611
基本
性能
ステージ制御軸数 2
最小司令単位 5nm
インポジション範囲 ±5nm (±15,±35nm選択可能)
最大動作速度設定値 30mm/sec
最大移動距離設定範囲 -671.088640~+671.088635mm
エラー検出 インターポレータエラー/スケールエラー
リミットエラー/オーバーフローエラー
オーバースピードエラー/コマンドエラー
緊急停止/システムエラー
制御
インターフェイス
ポート数
ジョグコントローラ 1
緊急停止入力 1
GP-IB 1
USB 1
Ethernet 1
汎用I/O 1
ティーチング 登録チャンネル数 5チャンネル
チャンネル毎登録行数 200行
操作可能インターフェース コントローラ キー操作
ジョグコントローラ キー操作
通信コマンド
汎用I/O
一般
仕様
電源 AC100~240V 50/60Hz
電源電圧変動許容範囲 AC90V~264V
消費電力 110VA max
ヒューズ 250V, 2.5A, タイムラグ, 2本
外形寸法 W220×H88×D290mm
質量 5.2kg
動作温度 0℃~40℃
動作湿度 20%~80%RH(結露のないこと)
保存温度 -10℃~55℃
保存湿度 20%~80%RH(結露のないこと)
使用場所 屋内
保存高度 2000m以下
使用高度 2000m以下
最大動作時間 連続動作可能
接続可能オプション JC-01, JC-01-03, JC-01-04
通信ポート GP-IB アドレス 1〜30
デリミタ CR+LF, EOI, CR, LF
サービスリクエスト 有効 or 無効
フロー制御 なし(固定)
USB 機能 仮想COMポート仕様
転送速度 フルスピード転送(12Mbps max)に対応
デリミタ CR+LF, CR, LF
Ethernet 規格 IEEE802.3x規格のフロー制御準拠
転送速度 10Mbps及び100Mbps転送に対応
デリミタ CR+LF, CR, LF
汎用I/O
ポート
入力 汎用入力 3ポート
ティーチング操作 1set
ビジーエラーキャンセル 1set
出力 汎用出力 3ポート
スケール分割パルス信号 各軸1set
アラーム信号 各軸1set
インポジション信号 各軸1set
ティーチング状態 1set
緊急停止入力 B接点(固定)
CAD図面

■寸法イメージ図

FC-611

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