1nm分解能 直動ハーモニックドライブステージ

FS-1020SPX(MD) / FS-1040SPX(MD) / FS-1050SPX(MD)
FS-1020SPXY(MD) / FS-1040SPXY(MD) / FS-1050SPXY(MD)


■特長

1nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。ハーモニックギヤード5相ステッピングモーターを使用した高トルクタイプのSPX(MD)シリーズステージです。
ステージを立ててZ軸として使用する時に自重落下を避けたい場合はこちらのSPX(MD)シリーズをおすすめします。
また、内蔵の光学式リニアエンコーダによりステージの位置を検出し、目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ストロークは20mm,40mm,50mmをラインナップしています。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
走り平行度
[μm以下]
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1020UPX(MD) □60 20 49(5) 0.7 1 ±2 10 0.4
FS-1020UPXY(MD)※3 □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1.4 1 ±2 10 0.4
FS-1040UPX(MD) □80 40 49(5) 1 1 ±2 10 0.5
FS-1040UPXY(MD) □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 1 ±2 10 0.5
FS-1050UPX(MD) □120 50 98(10) 1.8 1 ±2 10 0.5
FS-1050UPXY(MD) □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.6 1 ±2 10 0.5
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 2μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※4) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」及び「繰返し位置決め精度」です。
※2:ステージコントローラFC-911に接続したときの場合です。
※3:FS-1020UPXY 及び FS-1020SPXY(MD) は変換プレート AP-001 が含まれております。
※4:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020SPX
FS-1040SPX
FS-1050SPX

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