1nm分解能 直動ステージ

FS-1020UPX / FS-1040UPX / FS-1050UPX
FS-1020UPXY / FS-1040UPXY / FS-1050UPX


■特長

1nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
この通常のステッピングモーターを使用したUPシリーズでは、高トルクタイプのSPX(MD)シリーズと比べて高速に動作します。
また、位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。
このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御することで、目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ストロークは20mm,40mm,50mmをラインナップしています。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
走り平行度
[μm以下]
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1020UPX □60 20 49(5) 0.7 1 ±2 10 5※2
FS-1020UPXY※3 □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1.4 1 ±2 10 5※2
FS-1040UPX □80 40 49(5) 1 1 ±2 10 5※2
FS-1040UPXY □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 1 ±2 10 5※2
FS-1050UPX □120 50 98(10) 1.8 1 ±2 10 5※2
FS-1050UPXY □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.6 1 ±2 10 5※2
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 2μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※4) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する『最小分解能』及び『繰返し位置決め精度』です。
※2:ステージコントローラFC-911に接続したときの場合です。
※3:FS-1020UPXY 及び FS-1020SPXY(MD) は変換プレート AP-001 が含まれております。
※4:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020UPX
FS-1040UPX
FS-1050UPX

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