昇降ステージ

FS-1005PZ / FS-1010PZ


■特長

10nm分解能で位置決めができる昇降動作タイプのフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダを内蔵しており、 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御することで、 目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持が高分解能で可能となっています。
ストロークは5mm,10mmをラインナップしています。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1005PZ □120 5 49(5) 1.6 10 ±20 5
FS-1010PZ □120 10 49(5) 1.7 10 ±20 5
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド LMガイド+クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:ストローク 100mm あたりの走り平行度です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1005PZ
FS-1010PZ

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